Suport tècnic i serveis d'enginyeria
Visió general del suport tècnic
El màxim temps de funcionament operatiu i el rendiment de deposició de pel·lícula estable regeixen les línies de recobriment al buit industrial. La nostra estructura de suport d'enginyeria proporciona una intervenció tècnica directa a nivell de fàbrica-al llarg de tot el cicle de vida dels vostres sistemes PVD i CVD. Des de la integració mecànica inicial fins a l'optimització contínua del procés, els nostres enginyers de servei de camp (FSE) i metal·lúrgics al buit ofereixen solucions directes de problemes, programes de manteniment preventiu i diagnòstics de resposta ràpida-avalats pels nostres centres de servei globals a Amèrica del Nord, Europa i Àsia.
Instal·lació d'equips
L'alineació mecànica i elèctrica adequada evita les fuites de buit i les fallades del subsistema abans de la bomba-inicial.
Auditoria de preparació del lloc:
Verificació prèvia a la-instal·lació de les especificacions de la sala blanca, les càrregues de serveis públics (flux/pressió d'aigua de refrigeració, aire comprimit, distribució d'energia-alta) i ventilació d'escapament.
Muntatge i muntatge mecànics:
Anivellació de precisió de les cambres de buit, muntatge de bombes de difusió/turbomoleculars i alineació del bastidor de -resistents condicions amb una tolerància de +/- 0.5 mm.
Prova d'integritat al buit:
Les proves de fuites de l'espectròmetre de masses d'heli es van realitzar a tots els segells de cambra, brides i línies de controlador de flux massiu (MFC) per aconseguir un llindar de pressió base per sota de 5 x 10 ^ -4 Pa.
Formació d'operadors
El funcionament estandarditzat minimitza l'error humà i allarga la vida útil dels consumibles. Realitzem mòduls de formació estructurats, en-lloc o instal·lacions-, per als vostres equips de producció i manteniment.
Arquitectura del sistema:
Aprofundiment-en la lògica del PLC, el funcionament de la interfície SCADA, els protocols d'enclavament i els procediments d'apagada d'emergència.
Conceptes bàsics de buit i deposició:
Instruccions pràctiques sobre seqüències de desbastament/-bombes d'alt buit, regeneració de criobombes i control de l'evaporació tèrmica o de la polverització de magnetrons.
Protocols de seguretat:
Compliment de seguretat d'alta-tensió, manipulació de generadors de RF i gestió de gasos perillosos (per a sistemes CVD que utilitzen silà, amoníac, etc.).
La transició de la posada en marxa en fred a la producció comercial requereix una validació rigorosa del procés. Els nostres metal·lúrgics i enginyers de processos romanen al lloc-durant les sèries de producció inicials.
Assistència tècnica a distància
Quan es produeixen anomalies mecàniques o de programari, la telemetria de diagnòstic immediata redueix els retards innecessaris d'enviament.
Enllaç directe segur:
Accés remot VPN xifrat al PLC Siemens/Allen{0}}Bradley i a l'arquitectura de control d'ordinadors industrials per al control de l'estat d'E/S-en temps real.
SLA de resposta de diagnòstic:
Triatge d'enginyeria directe dins de les 2 hores posteriors a l'enviament del bitllet per a les aturades de producció crítiques, amb el suport 24/5 dels nostres centres d'enginyeria regionals.
Anàlisi del registre de dades:
-Revisió en profunditat dels registres històrics del procés, els consums de corrent de la bomba de buit i les posicions de la vàlvula d'acceleració per aïllar-ne les causes.
Manteniment i resolució de problemes
Els plans de servei proactius eviten la degradació catastròfica dels components. Subministrem protocols de manteniment estructurats assignats a les hores de funcionament.
Manteniment preventiu (PM):
Llistes de comprovació programades per a canvis d'oli de pales rotatives, substitució de l'{0}}anell tòric d'elastòmer, neteja de l'escut de la cambra (granat/granat químic) i descalcificació del canal de refrigeració d'aigua-.
Aïllament de falla comuna:
Falles d'alta pressió base:Identificació de desgasificació versus aïllament de fuites virtuals/reals mitjançant analitzadors de gasos residuals (RGA).
Esdeveniments d'arc:Anàlisi de l'estat de la superfície diana del càtode i ajust del camp magnètic.
Recanvis i suport de substitució
Els components genuïns i-que coincideixen amb les especificacions garanteixen la compatibilitat dimensional i la integritat al buit. Els articles de desgast crític s'emmagatzemen regionalment per a un enviament ràpid.
SLA d'inventari i enviament:
Les peces de recanvi crítiques habituals (com ara objectius planars/girables, aïllants ceràmics i vàlvules d'acceleració) s'envien des dels centres regionals en un termini de 24 hores després de la confirmació de la comanda.
Traçabilitat del material:
Tots els objectius metàl·lics i segells estructurals es proporcionen amb un certificat d'anàlisi (CoA) que verifica els nivells de puresa (per exemple, 99,999% de puresa) i la mida del gra metal·lúrgic.
Actualització i optimització d'equips
Amplieu la vida útil dels actius i actualitzeu les capacitats de processament a mesura que evolucionen els estàndards del mercat.
Reconstruccions del subsistema:Integració de fonts d'alimentació DC polsades avançades, criobombes d'alt-buit o sistemes de supervisió òptica (OES) millorats a les cambres PVD/CVD heretades.
Actualitzacions d'automatització:Modernització del programari PLC i substitució de maquinari HMI per eliminar components de control obsolets.
Documentació tècnica
Cada sistema s'envia amb un paquet complet de documentació d'enginyeria per donar suport als equips de manteniment intern.
Documentació inclosa:
Esquemes complets de cablejat elèctric i P&ID (Diagrames de canonades i instrumentació).
01
Codi font del PLC i fitxers de còpia de seguretat de l'HMI.
02
Manuals de components del proveïdor (Edwards, Pfeiffer, Inficon, Siemens, etc.).
03
Certificats de calibratge per a manòmetres i controladors de cabal massiu.
04
PMF d'assistència tècnica