8618270454287
cydm@aliyun.com
caCatalà
Classificació de producte
Visió general del producte

 

El sistema d'evaporació d'arc catòdic industrial és una plataforma de deposició física de vapor (PVD) de grau de producció-dissenyada per dipositar recobriments durs-resistents al desgast, a la corrosió-i de baixa-fricció. Mitjançant l'ús d'arcs elèctrics de baixa-tensió i alt-corrent, els objectius de càtode sòlid es vaporitzen i s'ionitzen instantàniament al punt del càtode, generant plasma metàl·lic altament ionitzat.


Dissenyat i fabricat d'acord amb els estàndards de gestió de qualitat ISO 9001 i les directives de compliment CE, aquest sistema està configurat per a operacions de recobriment d'alt rendiment-en els sectors de fabricació d'eines, components d'automoció i maquinari industrial. Les configuracions estàndard integren dissenys multi-càtode amb direcció de camp magnètic-independent, fonts d'alimentació programables de corrent continu/polarització polsada i control de buit automatitzat per mantenir una estequiometria de pel·lícula coherent i microestructures denses.

 
 
Especificacions tècniques

 

Paràmetre

Gamma d'especificacions / Configuració estàndard

Dimensions de la cambra

Diàmetre: 800 mm - 1800 mm (dissenys verticals/horitzontals personalitzables)

Material de cambra

Acer inoxidable SUS304 de doble-paret amb canals interns de refrigeració d'aigua-

Pressió de buit màxima

<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups)

Configuració del càtode

De 4 a 12 fonts d'arc rectangular/circular amb direcció electromagnètica

Font d'alimentació d'arc

300 A - 500Un corrent constant ajustable, ondulació<= 2%

Poder de biaix del substrat

Freqüència de polarització polsada ajustable de 0 a -1000 V 10 kHz - 100 kHz

Sistema de calefacció

Matriu d'escalfador radiant, temperatura màxima 600 graus +/- 5 graus d'uniformitat

Rotació de la peça

Rotació planetària o d'eix-dual impulsada per l'alimentació de fluid magnètic

Sistema de control

PLC + PC industrial, control de seqüència automatitzat basat en receptes-

Requisits d'utilitat

Aigua de refrigeració: 0,25-0,35 MPa, 20-25 graus; Potència: 380V/480V, trifàsica, 50/60 Hz

 

Procés d'evaporació d'arc

El cicle de deposició funciona sota un estricte control de procediment per garantir la integritat de la pel·lícula i l'adhesió de la interfície:

Evacuació i desgasificació:

La cambra de buit es bombeja fins a la pressió base. Els substrats s'escalfen al buit per eliminar els volàtils superficials i la humitat residual.

01

Gravat amb plasma (neteja):

El bombardeig d'ions metàl·lics (utilitzant fonts diana de titani o crom) neteja la superfície del substrat a nivell atòmic, eliminant els òxids natius i activant la interfície.

02

Deposició reactiva:

Els gasos reactius (N2, CH4, O2) s'injecten a la cambra mitjançant controladors de flux massiu (MFC) per reaccionar amb el flux de plasma metàl·lic (per exemple, Ti, Cr, AlTi), formant pel·lícules compostes com TiN, TiAlN o CrN.

03

Refrigeració i ventilació:

El refredament post-deposició es produeix sota una atmosfera protectora de gas inert abans de la ventilació de la cambra i la recuperació de les peces.

04

 

Arc Evaporation Thin Film Equipment

 

Materials i substrats de pel·lícules

Objectius de càtode compatibles
Titani (Ti) i titani alumini (TiAl):Materials bàsics per a recobriments de TiN estàndard i d'alta-oxidació-resistència a l'oxidació (resistent a l'oxidació fins a 900 graus).


Crom (Cr):S'utilitza per a acabats decoratius i capes de CrN/CrC resistents a la corrosió{0}}.


Zirconi (Zr) i titani silici (TiSi):S'aplica a pel·lícules nanocomposites decoratives especialitzades i resistents al desgast{0}}extrem.


Materials de suport compatibles
Acer d'alta{0}}velocitat (HSS):Broques giratòries, freses, plaques i broques.


Carburs cimentats (WC-Co):Plaquitas indexables, escariadors i matrius de conformació.


Acers i aliatges d'enginyeria:Components de vàlvules d'automoció, engranatges, maquinari sanitari d'acer inoxidable i implants mèdics de titani.

 

Aplicacions i impacte en el rendiment

Eines de tall de metalls:

Deposició de recobriments de TiAlN i AlCrN sobre plaques de carbur i freses d'extrem, allargant la vida útil de l'eina entre un 200% i un 300% i permetent el mecanitzat en sec d'alta velocitat-.

Troqueles de conformació i estampació:

Aplicació de recobriments densos i de baixa -fricció per reduir el desgast de l'adhesiu, la irritació i l'enganxament de la peça durant l'embotit profund, reduint el temps d'inactivitat fins a un 40%.

Tren motriu de l'automòbil:

Tractament d'anells de pistons, agulles d'injecció de combustible i taquets per minimitzar el coeficient de fricció del límit fins a <0,15 i evitar el desgast de les escombraries.

Ferreteria industrial i aixeta sanitària:

Capes decoratives dures de PVD (or TiN, or rosa, zirconi negre) que superen una prova d'esprai de sal neutre d'un mínim de 500 hores (ASTM B117).

 

Personalització i configuració de processos

Els dissenys dels equips s'escalen segons el volum de producció, la geometria de la peça i l'empremta de la fàbrica:

Geometria de la cambra:

Estructures de càrrega vertical per a eines pesades; configuracions de lots horitzontals per a la càrrega d'accessoris d'alta{0}}capacitat.

Integració de fonts:

Configuracions híbrides que combinen fonts d'arc catòdic amb càtodes de polverització catòdica de magnetró (RMS) desequilibrats per dipositar arquitectures multicapa llises i lliures de{0}}gotes.

Sistemes de filtració:

Filtres magnètics de macropartícules opcionals (filtres d'arc dirigit) instal·lats als canals catòdics per eliminar les macro-gotetes dels recobriments funcionals òptics o ultra-de precisió.

Interfície d'automatització:

Integració-preparada per a braços de càrrega robòtics i muntatge de lots de vehicles guiats automàticament (AGV).

 

 

Fabricació i control de qualitat

Integritat estructural:Els cossos de la cambra se sotmeten a proves de fuites de l'espectròmetre de masses d'heli a un llindar de sensibilitat de<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.


Seguretat elèctrica i compliment:Construït estrictament segons les directrius de seguretat elèctrica CE i IEC, amb proves d'aïllament complets i enclavaments de seguretat d'emergència.


Apagada funcional-(FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell sagnat HF1-HF2) es verifiquen en cupons de prova estàndard abans de l'enviament.

Cathodic Arc Thin Film Equipment

 

Instal·lació i suport tècnic
 

Paquet de preparació del lloc:

Es proporcionen plànols complets de distribució de serveis públics que detallen els cabals d'aigua de refrigeració, la ventilació d'escapament, la capacitat de càrrega del sòl i les especificacions de caiguda elèctrica proporcionats 4 setmanes després del-contracte.

-Comissió en funcionament al lloc:

Els enginyers de processos-certificats de fàbrica s'ocupen de l'alineació mecànica, la detecció de fuites al buit, la integració elèctrica i la configuració inicial de la recepta de referència a les instal·lacions del client.

Procés de transferència de receptes:

El lliurament inclou receptes de referència estàndard (TiN, TiAlN, CrN) i formació operativa per als equips d'enginyeria i manteniment intern.

Suport de diagnòstic remot:

Sistemes equipats amb passarel·les d'encaminador industrial segures per a la resolució remota de problemes de paràmetres i diagnòstic lògic de PLC.

 

 

PMF

 

 

P: Com controla el sistema la generació de macropartícules (gotes) inherent a l'evaporació de l'arc?

R: L'equip utilitza bobines de direcció de camp magnètic ajustables per moure el punt de l'arc de càtode ràpidament per la superfície objectiu, reduint el temps de residència i l'expulsió de gotes. Per a aplicacions que requereixen acabats ultra-suaus, els mòduls d'arc filtrat opcionals desvien magnèticament el plasma metàl·lic lluny de les macropartícules abans d'arribar al substrat.

P: Quina és la taxa d'utilització objectiu típica per a la configuració estàndard del càtode?

R: Els càtodes circulars i rectangulars estàndard aconsegueixen una taxa d'utilització del material objectiu del 40% al 55%, depenent del perfil del camp magnètic i del gruix de l'objectiu. El reemplaçament de l'objectiu està assegurat mecànicament amb mecanismes de subjecció-ràpids per minimitzar el temps d'inactivitat de manteniment.

P: Aquest equip es pot integrar en una línia de producció automatitzada existent?

A: Sí. L'arquitectura de control del PLC admet protocols de comunicació SECS/GEM i la connexió d'E/S digital estàndard per a la integració amb línies de pre-neteja automatitzades i cèl·lules de càrrega robòtiques.

P: Quin és el termini de lliurament estàndard per a una configuració de cambra personalitzada?

R: Els sistemes de lots verticals estàndard requereixen de 16 a 22 setmanes des de l'aprovació del dibuix fins a les proves d'acceptació de fàbrica (FAT), depenent de les especificacions personalitzades del grup de bombeig i de les disposicions de subministrament d'energia.

Som -coneguts com un dels principals fabricants i proveïdors d'equips de pel·lícula fina d'evaporació d'arc a la Xina. Si voleu comprar equips de pel·lícula fina d'evaporació d'arc personalitzats fabricats a la Xina, us convidem a obtenir la llista de preus de la nostra fàbrica. Per consultar preus, poseu-vos en contacte amb nosaltres.

Productes recomanats
Enviar la consulta
Contacta amb nosaltressi tens alguna pregunta

Pots contactar amb nosaltres per telèfon, correu electrònic o el formulari en línia que trobaràs a continuació. El nostre especialista es posarà en contacte amb vostè en breu.

Contacta ara!