Equips de deposició per evaporació d'arc

Plataforma de deposició física de vapor industrial (PVD) dissenyada per a la síntesi d'-alta velocitat de recobriments durs densos, resistents al desgast- i funcionals. El manteniment d'una descàrrega d'arc catòdic d'alta -corrent i baixa- tensió a les superfícies sòlides de l'objectiu genera un corrent de plasma ionitzat del 80% al 100%.

Combinada amb la polarització del substrat negatiu programable, aquesta alta energia cinètica impulsa la mescla interfacial a -escala atòmica, donant lloc a una adhesió de pel·lícula superior i una porositat columnar zero. L'arquitectura de la cambra admet configuracions modulars multi-càtodes per a la deposició automatitzada de nano{-laminats d'una{-capa, multi-capa i recobriments de gradient estequiomètric (TiN, TiAlN, CrN, TiCN).

Alta taxa d'ionització:La vaporització catòdica directa converteix el flux metàl·lic en ions d'alta-densitat, promovent estructures de gra denses sense micro-buits.

Direcció magnètica activa:Les bobines electromagnètiques programables escombren el punt d'arc a través de les cares de l'objectiu, suprimint el cràter localitzat i impulsant la utilització del material objectiu més enllà del 60%.

Control dinàmic de gas:Els controladors de flux massiu (MFC) de bucle-tancat regulen la injecció de gas reactiu (N2, O2, C2H2) mitjançant retroalimentació de pressió parcial-en temps real.

Sinèrgia multi-font:Les parets de la cambra s'adapten a dissenys d'objectius híbrids, cosa que permet la deposició seqüencial ininterrompuda de capes de ceràmica multi-component en un sol cicle de buit.

Grup de desbast i arrels:Bomba de paletes rotatives d'accionament-directe combinada amb un bufador Roots de gran-desplaçament per gestionar càrregues elevades de gas durant el processament reactiu.

Etapa d'alt buit:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 L/s) acoblat mitjançant una vàlvula de comporta pneumàtica d'alta-conductància.

Instrumentació de buit:Configuració de calibre dual-pirani entrellaçat i càtode fred que controla els intervals de pressió total des de l'atmosfera fins a 10^-6 Pa.

Integritat de fuites:Les brides-segellades d'elastòmer amb refredament-encamisat d'aigua mantenen les taxes de fuites del sistema per sota d'1,0 x 10^-9 Pa*m3/s.

Materials diana del càtode
Metalls i aliatges de transició:Titani (Ti), Crom (Cr), Zirconi (Zr), Alumini (Al), Titani-Alumini (TiAl 50/50, 33/67), Tungstè (W).

No-metàl·lics:Grafit d'alta -puresa (C) per a capes de diamant-com el carboni (DLC) i carbur.

Substrats industrials
Acers i carburs per a eines:Acer d'alta-velocitat (HSS), carburs cimentats (WC-Co).

Aliatges estructurals:Acers inoxidables austenítics/martensítics, aliatges de titani (TC4), superaliatges basats en níquel-(Inconel).

Eines de tall de precisió:Deposició de TiAlN i AlTiN en trepants, freses i plaques d'engranatge per augmentar la duresa de la superfície a 3300-3500 HV i augmentar la resistència a l'oxidació tèrmica fins a 800 graus.

Enginyeria de l'automoció:Baixa-fricció, recobriments-resistents al desgast en components d'injecció de combustible, anells de pistons i taquets.

Motlles i matrius:Deposició de nitrur de crom (CrN) en motlles d'injecció de plàstic per evitar el desgast de l'adhesiu, la micro-soldadura i l'adherència de resina.

Mida de la cambra:Modificacions geomètriques fetes a mida per a panells arquitectònics de grans dimensions o carrusels d'eines petites-d'alt rendiment.

Hibridació de la font:Integració de fonts d'arc catòdic amb sputtering de magnetró desequilibrat (UBM) o càtodes HiPIMS en un cos unificat.

Interfícies d'automatització:Integració del MES de fàbrica mitjançant protocols OPC-UA juntament amb opcions d'escotilla de càrrega automatitzada.

Verificació de fuites d'heli:Comprovació de fuites per espectròmetre de masses realitzada en totes les soldadures i segells al buit.

Auditoria de seguretat elèctrica:Proves d'aïllament d'hipot, comprovacions de continuïtat de la connexió a terra i verificació del bucle del circuit E{0}}stop.

Prova de durada de 72-hores:Cicle continu de funcionament en sec-de accionaments de rotació mecànics, interruptors de cabal d'aigua i seqüències de vàlvules PLC abans del desmuntatge.

Proves d'acceptació de fàbrica (FAT):Realitzat al lloc-per validar els nivells de buit bàsics, l'estabilitat de l'encesa de l'arc i la distribució del gruix de la línia de base als cupons de calibratge.

Entrega de requisits de la instal·lació:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 MPa, 15-25 graus ), extracció d'escapament i caigudes d'alimentació (trifàsica, 380 V/480 V).

Encàrrec de camp:Supervisió al lloc-per part d'enginyers de camp mecànics i elèctrics que cobreixen l'alineació, la connexió i els lots de prova.

Formació d'operadors:Instruccions estructurades sobre la configuració de la recepta del programari, els procediments d'intercanvi d'objectius del càtode i el manteniment preventiu del buit.

Diagnòstic remot:Passarel·la VPN industrial segura incrustada al tauler de control per a la telemetria del programari i la resolució de problemes.