Visió general del producte
Equip industrial de revestiment d'ions multi-arc dissenyat per aplicar recobriments durs, pel·lícules funcionals i acabats decoratius de PVD a components de precisió. Utilitzant una descàrrega d'arc de buit d'alta-corrent i baixa-tensió, el sistema vaporitza directament els materials sòlids objectiu (Ti, Cr, Al, Zr). Quan es combina amb gasos reactius (N2, O2, C2H2), sintetitza nitrurs, carburs i òxids densos de metalls de transició directament sobre substrats metàl·lics.
Construïda sobre una arquitectura de cambra de buit modular, aquesta solució PVD clau en mà s'adapta a diferents escales de producció-des del processament per lots d'R+D fins a la fabricació en línia-automatitzada i d'alt rendiment. El sistema està optimitzat per a una gran utilització d'objectius i un baix cost total de propietat (TCO) en entorns industrials continus les 24 hores del dia, els 7 dies de la setmana.
-
![Equip de deposició al buit d'arc multi-]()
Equip de deposició al buit d'arc multi-Aquest sistema de deposició al buit multi-arc utilitza la tecnologia de revestiment d'ions d'arc catòdic per dipositar recobriments durs densos i d'alta-adhesió sobre substrats metàl·lics i...veure més -
![Sistema de deposició d'ions multi-arc]()
Sistema de deposició d'ions multi-arcThe Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >Ionització del 80% del material...veure més -
![Equip de pel·lícula fina PVD multi-arc]()
Equip de pel·lícula fina PVD multi-arcEl sistema industrial Multi-Arc PVD utilitza la deposició física de vapor d'arc catòdic d'alta-ionització per dipositar recobriments durs densos i estequiomètrics (com ara TiN, TiAlN, CrN i DLC)...veure més -
![Equip de deposició d'ions multi-arc]()
Equip de deposició d'ions multi-arcEl sistema industrial de deposició d'ions multi-arc genera pel·lícules fines denses i d'alta-adhesió mitjançant l'evaporació d'arc catòdic d'alta-corrent i baixa-tensió. Els materials objectiu...veure més -
![Sistema de pel·lícula fina multi-Arc Ion]()
Sistema de pel·lícula fina multi-Arc IonEl sistema industrial de pel·lícula fina d'ions multi-Arc utilitza l'evaporació d'arc catòdic per dipositar recobriments ceràmics i metàl·lics densos i d'alta-adhesió sobre substrats metàl·lics i...veure més -
![Equip de pel·lícula fina d'ions d'arc multi-]()
Equip de pel·lícula fina d'ions d'arc multi-Aquest sistema de revestiment d'ions multi-arc utilitza l'evaporació d'arc catòdic per dipositar recobriments durs densos i d'alta-adhesió i pel·lícules primes funcionals. En produir un arc...veure més
Especificacions tècniques
|
Paràmetre |
Interval d'especificacions |
Unitat / Nota |
|
Dimensions de la cambra |
De 600 x 600 a 1500 x 1800 |
mm (Configuracions verticals o horitzontals personalitzades) |
|
Pressió de buit màxima |
<= 5.0 x 10^-4 |
Pa (bomba seca + Turbo-molecular / conjunt de difusió d'oli) |
|
Fonts d'arc catòdic |
4 a 16 unitats |
Fonts d'arc filtrades o dirigides electromagnètiques (FCA) |
|
Poder de biaix del substrat |
0 a -1000 |
V (capacitats de polarització DC/MF polsades avançades) |
|
Temperatura de calefacció |
Temperatura de l'habitació fins a 600 |
C (escalfadors radiants controlats per PID) |
|
Uniformitat de deposició |
<= +/- 5% |
Mesurat mitjançant XRF a través de la zona de treball efectiva |
|
Sistema de control |
PLC + PC industrial |
Execució automatitzada de receptes, registre de dades SCADA |
|
Seguretat i compliment |
CE, ISO 9001 |
Tancaments elèctrics compatibles amb UL-disponibles a petició |
La seqüència física de deposició de vapor funciona amb un flux de treball automatitzat de-bucle tancat i estricte per garantir la repetibilitat-a-per lots:
Evacuació i desgasificació:
La cambra de buit es bombeja fins a una pressió de referència de<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
Gravat al plasma (bombardeig):
S'introdueix gas argó. S'aplica un alt biaix negatiu al suport del substrat, generant ions Ar que bombardegen la superfície per eliminar els òxids natius i els micro-contaminants.
Evaporació i ionització d'arc:
El corrent d'arc de corrent continu colpeja el càtode metàl·lic sòlid. La taca del càtode local arriba a una densitat d'energia extrema, vaporitzant instantàniament el material objectiu en un flux de plasma d'alta-densitat (taxa d'ionització > 80%).
Deposició reactiva:
Els gasos reactius s'injecten al flux de plasma a pressions parcials controlades amb precisió mitjançant controladors de flux massiu (MFC), formant pel·lícules compostes estequiomètriques sobre substrats rotatius.
Refrigeració i ventilació:
El refredament controlat es produeix sota protecció de gas inert abans de la ventilació de la cambra, evitant l'oxidació de les peces recentment recobertes.
Materials de pel·lícula i propietats de recobriment
El sistema admet disposicions multi-càtodes metàl·liques, que permeten arquitectures monocapa, multicapa, nano-composites i pel·lícules de gradient:
TiN (nitrur de titani):
Recobriment daurat estàndard; duresa 2200–2400 HV; coeficient de fricció 0,4. Ús principal: eines de tall generals i peces de desgast mecànics.
TiAlN (nitrur de titani d'alumini):
Resistència a l'oxidació a alta -temperatura de fins a 850 C; duresa 3000–3300 HV. Ús principal: inserts de mecanitzat en sec d'alta-velocitat i vàlvules del motor.
CrN / CrAlN (nitrur de crom):
Excel·lent resistència a la corrosió i baixa tensió interna; propietats anti-convulsions contra metalls no-ferrosos. Ús principal: conformació de motlles, anells de pistons i components de maquinària tèxtil.
ZrN / TiCN:
Baixa rugositat superficial (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
Aplicacions
Eines de tall de precisió:
Freses, trepants, plaques i plaques indexables que requereixen una vida útil prolongada de l'eina sota càrregues tèrmiques elevades.
01
Tren motriu de l'automòbil:
Passos del pistó, taquets, components d'injecció de combustible i superfícies d'engranatges que requereixen una resistència al fregament i al fregament reduïda.
02
Motlles i matrius:
Motlles d'injecció de plàstic, matrius d'estampació i-insercions de fosa a pressió que requereixen resistència al desgast de l'adhesiu i a la fatiga tèrmica.
03
Components aeroespacials:
Les pales de la turbina i els elements de fixació de titani funcionen en entorns corrosius agressius i d'alt -estrès.
04
Personalització i configuració del sistema
Els articles estàndard del catàleg poques vegades s'ajusten perfectament als dissenys de fàbrica dedicats. Les configuracions dels equips s'adapten en funció de la geometria específica dels components, els objectius de temps de cicle i les limitacions de la instal·lació:
Geometria de la cambra:
Cambres d'acer inoxidable octogonals o cilíndriques (SUS304/SUS316L) amb jaquetes de refrigeració d'aigua-de doble paret-.
Disseny de la font:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
Fixació del substrat:
Mecanismes de rotació planetària (3-eix) o d'una sola rotació impulsats per fluxos de fluid magnètic per garantir una cobertura uniforme de recobriment en geometries 3D complexes.
Opcions de la pila de bombeig:
Ventiladors d'arrels, bombes de pales rotatives, bombes criogèniques o bombes turbomoleculars configurades per complir els temps de cicle de bomba-estrictes.
Control de qualitat i protocols de proves
Totes les màquines es sotmeten a proves d'acceptació de fàbrica (FAT) estrictes abans de l'enviament, documentades per a la revisió del comprador:
01
Prova d'integritat al buit:
Detecció de fuites d'heli mitjançant espectrometria de masses (taxa de fuites<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
Seguretat elèctrica i crema-a:
Funcionament en sec continu de 72 hores de fonts d'alimentació, enclavaments de refrigeració per aigua i lògica d'automatització PLC.
03
Verificació del recobriment (-laboratori intern):
Experiències de mostres provades mitjançant la prova Calo-(gruix de la pel·lícula), sagnat Rockwell (resistència d'adhesió) i nanoindentació (duresa).
Instal·lació, posada en marxa i suport tècnic
Directrius per a la preparació del lloc:
Es proporcionen plànols detallats de distribució de serveis públics per als requisits de flux/pressió d'aigua de refrigeració, aire comprimit, ventilació d'escapament i requisits de barres elèctriques.
SAT i posada en marxa:
-Instal·lació al lloc (proves d'acceptació del lloc), calibratge al buit i lliurament de receptes de referència executada per enginyers de processos PVD superiors.
Formació de processos:
Formació pràctica-d'operadors que inclou els horaris de substitució del càtode, el manteniment preventiu del buit, la resolució de problemes i l'optimització de receptes bàsiques.
Suport de peces de recanvi:
Components de desgast crític (càtodes, escuts, aïllants i segells) emmagatzemats per a l'enviament global en un termini de 48 hores.
Preguntes freqüents
Som-coneguts com un dels principals fabricants i proveïdors d'equips de pel·lícula fina d'ions multi-arc a la Xina. Si voleu comprar equips personalitzats de pel·lícula fina d'ions d'arc multi-fabricats a la Xina, us convidem a obtenir la llista de preus de la nostra fàbrica. Per consultar preus, poseu-vos en contacte amb nosaltres.
