Descripció de l'equip:
· Introducció a l'equip:
L'equip de pel·lícula fina de Magnetron Sputtering utilitza la tecnologia bàsica madura de l'empresa: Neteja de raigs d'ions d'alta energia + Font de Sputtering de Magnetron (Magnetron Sputtering), l'equip adopta un control automàtic complet, optimització integrada modular, equip d'alta potència, rendiment estable, funcionament senzill i manteniment fàcil. Per satisfer les diferents necessitats de recobriment, la cambra es pot dissenyar i configurar amb una varietat d'objectius, com ara objectius circulars planars, objectius de tira i objectius cilíndrics, i pot obtenir pel·lícules compostes multi-capes d'alta densitat i bon rendiment uniforme, inclosos diversos metalls, components electrònics, materials ferromagnètics, així com òxids aïllants i pel·lícules ceràmiques. L'equip de pel·lícula fina de Magnetron Sputtering és adequat per al desenvolupament de recobriments i serveis de recobriment per lots.
·Avantatges de l'equip:
Express Magnetron Sputtering Thin Film Equipment té una tecnologia bàsica única, un camp magnètic especialment dissenyat i una ruta de gas de procés, millora eficaçment la taxa d'utilització de l'objectiu i l'estabilitat del procés-a llarg termini;
Interfície universal modular express, compatible directament amb diferents formes d'objectius de càtode, permetent el mode de treball de pols de CC, IF, RF; Compatibilitat forta;
express El sistema operatiu de processos intel·ligents automàtics de disseny automàtic -ofereix capacitats d'edició i trucades de fórmules de procés completes i còmodes, equipades amb un sistema de control de paràmetres de procés-en temps real, que permet el control remot en línia.
Camp d'aplicació:
Els equips de pel·lícula fina de polverització expressa de Magnetron es poden xapar Cu, Au, Cr, Ni, Ta, TiN, TiC, TiCN, TiAlN, CrN i altres òxids metàl·lics, no -metalls i ceràmics de tot tipus de pel·lícules i pel·lícules compostes;
express Es pot utilitzar en pantalles de cristall líquid, desgast dur, cèl·lules solars, protecció de materials i anticorrosió, vidre de construcció, capa de pel·lícula òptica i decorativa, emmagatzematge d'informació òptica magneto-, materials ferromagnètics i altres camps.
Tipus de recobriment:
|
Tipus de recobriment |
Gruix de la pel·lícula (μm) |
Rendiment accessible |
Aplicació principal |
|
Ti/Ni/Cr/Cu/Ag, etc |
0.5-10 |
Millora la soldabilitat, millora la capacitat de blindatge electromagnètic, canvi de color d'aparença, etc |
Comunicacions 5G Institut de recerca. |
Etiquetes populars: equips de pel·lícula fina de magnetron, fabricants d'equips de pel·lícula fina de magnetron de la Xina, proveïdors, fàbrica
