Descripció de l'equip:
· Introducció a l'equip:
La màquina de recobriment per polverització de magnetrons és una tecnologia física de deposició de vapor que utilitza camps magnètics i interacció d'ions per preparar pel·lícules primes. La màquina de recobriment de Magnetron Sputtering utilitza la tecnologia bàsica provada de l'empresa: Ionbeam Cleaning + Font de Sputtering Magnetron. A la cambra de buit, l'ambient arriba a un estat de buit elevat mitjançant l'aspiració. Aleshores, mitjançant descàrrega brillant o radiació de radiofreqüència, la superfície objectiu s'activa per ionitzar els àtoms o molècules de gas de treball i formar un plasma. Aleshores, aplicant un camp magnètic, els ions són controlats pel camp magnètic, augmentant la probabilitat de colpejar la superfície de l'objectiu. El feix d'ions xoca amb la superfície de l'objectiu, fent que els àtoms o les molècules de l'objectiu es dipositin a la superfície del substrat a una velocitat més alta per formar una pel·lícula. Es pot ajustar l'energia del feix d'ions i es poden canviar l'estructura i les propietats de la pel·lícula controlant l'energia i la densitat del feix d'ions. La màquina de recobriment de magnetrons sputtering adopta un control automàtic complet, optimització d'integració modular, alta potència, bona estabilitat, funcionament senzill i manteniment fàcil. La màquina de pulverització de magnetrons és adequada per al desenvolupament de recobriments i serveis de recobriment per lots.
· Avantatges de l'equip:
expressar velocitat de deposició ràpida;
expressa Baixa pujada de la temperatura del substrat;
express El dany a la capa de membrana és petit;
expressar Bona unió de membrana;
Expressa Alta puresa de pel·lícula, bona densitat, bona uniformitat de pel·lícula;
expressar Bona repetibilitat;
express Adequat per a una varietat de materials;
expressar Fàcil de realitzar la industrialització;
express La composició de la capa de pel·lícula és propera a la del material objectiu.
express El recobriment de pel·lícula és bo;
expressar El biaix negatiu s'aplica a la peça de treball;
Tècnica》Composite target.
Camp d'aplicació:
Microelectrònica expressa: la tecnologia de recobriment de polverització magnètica s'utilitza en el camp de la microelectrònica per a la preparació de cables metàl·lics, dissipadors de calor metàl·lics, màscares litogràfiques i altres components clau;
Camp òptic express: en el camp de l'òptica, la tecnologia de recobriment de magnetrons sputtering s'utilitza per fabricar components òptics com lents, filtres, miralls, etc.
Camp químic express: la tecnologia de recobriment de magnetron sputtering s'utilitza per preparar catalitzadors, sensors i altres components químics;
Camp de mecanitzat express: en el camp del mecanitzat, la tecnologia s'utilitza per millorar la duresa superficial, la resistència al desgast i la resistència a la corrosió de les peces mecàniques;
Camp de decoració express: la tecnologia de recobriment de magnetron sputtering s'utilitza per produir una varietat de pel·lícules decoratives boniques i duradores;
express Electrònica flexible: la tecnologia de recobriment per polverització magnètica té un paper important en pantalles flexibles, llibres electrònics, cèl·lules solars flexibles i altres productes emergents;
Energia expressa i protecció del medi ambient: la tecnologia de recobriment de magnetron sputtering s'utilitza per preparar pel·lícules de calefacció solar, cèl·lules solars de pel·lícula fina, etc.
Etiquetes populars: Equips de recobriment de magnetron sputter, fabricants d'equips de revestiment de magnetron sputter de la Xina, proveïdors, fàbrica
