Equips de deposició de compostos PVD

L'equip de deposició de compostos PVD industrial està dissenyat per a la fabricació de pel·lícules primes-de múltiples-components, multi{-capes i nano-composites. El sistema integra l'evaporació tèrmica, l'evaporació del feix d'e-i les fonts de polverització de magnetrons dins d'un únic entorn de buit per controlar la composició de la pel·lícula, la nitidesa de la interfície i la tensió residual. Creada per a la R+D i la producció contínues, l'arquitectura compta amb una pressió base baixa, una configuració de font modular i un accés de manteniment net.

Integració de fonts modulars:Els ports de la cambra permeten operacions simultànies o seqüencials de fonts d'evaporació i polverització sense contaminació creuada-.

Manipulació dinàmica del substrat:Els mecanismes d'accionament de rotació planetari o de rotació de diversos eixos-asseguren un recobriment conforme en substrats 3D complexos i rases profundes.

-Ports de supervisió in situ:Brides pre-alineades per a microequilibri de cristall de quars (QCM), espectroscòpia d'emissió òptica (OES) i monitorització òptica de banda ampla (BOM).

Integritat al buit de -puresa alta:Brides segellades de metall-conflat (CF), vàlvules pneumàtiques i proves de fuites de l'espectròmetre de masses d'heli fins a 1,0 x 10^-10 Pa*m3/s.

Seguretat d'enclavament automàtic:La retroalimentació del sensor-en temps real protegeix contra fallades de l'aigua de refrigeració, pèrdua d'aire comprimit i anomalies de sobre-temperatura.

Bombes de desbast i arrels:Les bombes de cargol sec-sense oli combinades amb bufadors d'arrels impedeixen el retorn d'hidrocarburs a la cambra de procés.

Bombes d'alt-buit:Bombes turbomoleculars de levitació magnètica o bombes criogèniques d'heli{0}}de bucle tancat seleccionades segons els requisits de càrrega de gas objectiu.

Regulació de la pressió:Els controladors de la vàlvula d'acceleració integrats amb manòmetres de capacitat mantenen una pressió de procés estable (0,1 Pa a 10 Pa) durant les execucions reactives.

Filtres d'interferències òptiques:Recobriments multi{-anti-reflectants (AR), filtres de pas de banda i miralls-de reflector alt per a làsers i sensors.

Recobriments durs-resistents al desgast: recobriments de nitrur de nanocomposites (TiAlN/Si3N4) en eines de tall de precisió i trens de vàlvules d'automoció.

Pel·lícules primes microelectròniques:Capes de barrera conductora, capes de llavors i piles de metal·lització de contacte per a envasos de semiconductors.

Pel·lícules d'energia funcional:Òxids conductors transparents (TCO) i capes absorbents per a dispositius fotovoltaics i sensors.

Dimensions de la cambra:Volum a escala des de l'escala d'R+D (cub de 400 mm) fins a l'escala de producció (dià. 1200 mm cilíndrica).

Dissenys del port d'origen:Posicionament personalitzat de la brida per integrar fonts d'ions de tercers-, deposició assistida per plasma- (PAD) o generadors de polarització de RF.

Carrega-Bloqueja la integració:Configuracions d'eines de càrrega manual-bloqueig,-càrrega d'hòstia-única o multi-clúster per evitar l'oxidació.

Compliment global d'electricitat i seguretat:Armaris de control construïts segons les directrius UL 508A / NFPA 79 (Amèrica del Nord), CE (Europa) i SEMI S2/S8 EHS.

Prova de buit:Les cambres soldades es sotmeten a la detecció de fuites de l'espectròmetre de masses d'heli abans de l'acabat de la superfície.

Inspecció dimensional:Verificació de la màquina de mesura de coordenades (CMM) dels plans de muntatge de la font i les toleràncies del substrat.

Prova d'acceptació de fàbrica (FAT):Prova d'execució en sec contínua de 72-hores-que enregistra la disminució de la pressió de la base, les corbes de bombeig i els registres de resposta del PLC.

Enginyeria pre-instal·lació:Provisió de manuals de requisits de les instal·lacions (utilitats, flux/pressió d'aigua de refrigeració, ventilació d'escapament, càrrega del sòl de la sala blanca).

-Comissió en funcionament al lloc:Els enginyers de servei de camp supervisen el muntatge, la connexió de la línia de buit, la connexió elèctrica-i la bomba-de baixada inicial.

Ajuda per a l'ajust del procés:La prova col·laborativa s'executa amb els equips d'enginyeria del client per verificar la uniformitat de la pel·lícula i les taxes de deposició.

Suport al cicle de vida:Integració de mòduls de diagnòstic remot per a la resolució de problemes de PLC-en temps real, amb el suport d'un inventari de recanvis localitzat.